檢索結果:共6筆資料 檢索策略: "對位".ckeyword (精準) and cdept.raw="自動化及控制研究所"
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在線路圖案的定義過程,無論是使用什麼型態的曝光系統,對準量測技術皆為關鍵的製程步驟,在曝光之前能夠準確的將載台進行可以有效減少製程的重工率,進而降低製程成本。本實驗室在先前的研究過程中,發現使用數位…
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近年噴頭噴印技術隨著積層製造成長而發展快速,由於壓電噴頭的快速噴印及高精準度等優勢,可印製解析度高的成品,進而成為3D列印之材料噴印技術之主流。隨著噴印精準和高解析度的要求,噴印前之對位系統為關鍵技…
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三維先進封裝可以透過層層堆疊擴展每個3D芯片的功能,遠遠超出傳統縮放的能力,然而進一步的尺寸小型化為半導體行業帶來了巨大的挑戰,其中在晶圓鍵合過程中對準量測技術為關鍵的製程步驟,在鍵合前能夠準確將晶…
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現今PVC卡片的瑕疵種類眾多,例如:刮痕、沾污、毛削、漏印等,其中低對比刮痕是屬於較難檢測的瑕疵,常需要藉由人工手持PVC卡片在強烈光源下,再經由翻轉不同角度來檢查刮痕瑕疵。因此,在長時間檢測之下對…
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近年噴頭噴印技術隨著積層製造的再次崛起,而衍生出許多不同於紙本印刷的新興應用;由於壓電噴頭的快速噴墨與高精準度等優勢,適合應用於快速打樣與各式直接製造等方法,進而成為在3D列印中材料噴印與黏著劑噴塗…
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本研究主要目的是整合雙CCD視覺系統與XXY對位平台,並且建構定位誤差補償控制之設計。因為考量到XXY對位平台的部分機構件有加工或組裝誤差的累積,亦或是長時間的使用導致整體運動精度不佳等問題,而導致…